Що таке метод спінювання?
Спін-покриття є ідеальний спосіб нанесення рівномірного тонкого покриття на плоску основу. Субстрат закріплюється на стадії прядіння, а потім матеріал покриття наноситься на центр субстрату та дозволяється рівномірно розподілитися по поверхні за допомогою доцентрових сил прискорення.
Одним з головних недоліків спін-коутингу є розмір підкладки. Зі збільшенням розміру ускладнюється високошвидкісне прядіння, тому що стає складніше тонити плівку. Матеріальна ефективність спінювання дуже низька.
Одна з переваг тонких плівок, що наносяться центрифугуванням, полягає в тому рівномірність товщини плівки. Завдяки самовирівнюванню товщина змінюється не більше ніж на 1%. Товщина плівок, виготовлених таким чином, також може впливати на оптичні властивості таких матеріалів.
Для більшості розчинників (наприклад, у списку нижче) тривалість нанесення покриття обертанням 30 секунд зазвичай є більш ніж достатнім і тому рекомендується як відправна точка для більшості процесів.
Розчинник 1, 2, 3-трихлорпропан колись був традиційним розчинником, який зазвичай використовувався для нанесення покриттів центрифугуванням, але через проблеми з токсичністю циклогексанон зазвичай є кращим і створює покриття порівнянної якості. Також зазвичай використовуються більш полярні розчинники, такі як N,N-диметилформамід (DMF).
Поширені дефекти, виявлені за допомогою Spin Coating
- Комети, на жаль, трапляються регулярно з спіновим покриттям. …
- Сліди від патрона з’являються через температурні відмінності між верхньою частиною пластини або заготовки та тильною стороною пластини, найближчою до патрона. …
- Краї пластин можуть спричинити проблеми з нанесенням покриття.